盛美半導體設備(上海)股份有限公司成立于2005年，是一家注冊在上海浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)、具備科學技術(shù)的半導體設備制造商。盛美擁有國際先進水平的自主知識產(chǎn)權(quán)，集研發(fā)、設計、制造、銷售于一體，是一家專注于單片晶圓清洗設備、電鍍銅設備、先進封裝濕法設備研發(fā)及生產(chǎn)的公司。公司具有高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì)，并獲得“上海市集成電路先進濕法工藝設備重點實驗室”稱號，是“20-14nm 銅互連鍍銅設備研發(fā)與應用”和“65-45nm 銅互連無應力拋光設備研發(fā)”等中國“02 專項”重大科研項目的主要課題單位。2017年底，公司母公司ACM Research Inc在納斯達克證券市場上市（Nasdaq：ACMR）。2019年11月，公司成功改制成為股份有限公司。2019年12月，在臨港新片區(qū)啟動了“盛美半導體設備研發(fā)與制造中心”項目，計劃將盛美臨港建設成為全球主要研發(fā)及生產(chǎn)基地，作為盛美全球化發(fā)展的重要環(huán)節(jié)，納入盛美全球化發(fā)展的整體布局。盛美擁有完整的自主知識產(chǎn)權(quán)，截止2020年4月，盛美公司已申請專利813項，其中已獲得授權(quán)發(fā)明專利245項。主要客戶有韓國SK海力士、華虹集團、長江存儲、中芯國際、合肥長鑫、長電科技、通富微電、中芯長電等。
